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CVD爐系列

大型CVD氣相沉積爐





用途:

化學氣相沉積爐(CVD爐)是用于在特定壓力下將金屬鹵化物、金屬有機物、碳氫化合物等反應源加熱氣化后在目標材料表面反應生成固態沉積物的設備,廣泛用于物質提純、新晶體研制、各種單晶的沉積、多晶或玻璃態無機薄膜材料等。






 

 
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